Gốm sứ có độ chính xác cao, gốm sứ xốp, mâm cặp chân không và các thành phần nổi khí
Mô-đun chân không gốm xốp kích thước lớn
● Thích hợp cho việc chuyển khí nổi, hấp phụ, phát hiện AOI của các tấm LCD diện tích lớn.
● Cũng thích hợp cho quá trình cắt và gia công.
● Kích thước tối đa của một mảnh là 500*500mm.
● Có thể ghép nối theo kích thước tấm, lên tới 2000*2000mm hoặc lớn hơn.
● Vật liệu có khả năng loại bỏ tĩnh điện, tránh hư hỏng sản phẩm.
● Vật liệu nền: đá granit, nhôm đùn, hợp kim nhôm.
Nĩa gốm chống tĩnh điện
● Giá trị điện trở: gốm đặc 105~109 ohm.
● Màu sắc: Đen.
● Phuộc tùy chỉnh với nhiều loại khác nhau.
● Độ bền cao, hiệu quả chống tĩnh điện tuyệt vời.
● Toàn bộ sản phẩm được làm bằng vật liệu gốm chống tĩnh điện đồng nhất thay vì bề mặt gốm alumina được mạ vật liệu ESD.
Khay đựng đĩa mỏng
● Lực hút mạnh.
● Mài phẳng và song song có độ chính xác cao.
● Độ xốp 20-25%.
● Độ nhám bề mặt
● Gốm xốp có điện trở thấp và khả năng chống tĩnh điện tốt.
● Độ dày có thể tùy chỉnh theo yêu cầu. Độ dày thông thường: 0,7mm, 1,0mm, 2,0mm.
● Dùng để nạp, hấp phụ và làm sạch các tấm wafer SiC và GaAs.
Gốm sứ đặc biệt tiêu tán tĩnh điện
● Giá trị điện trở: 105~109 ohm.
● Màu sắc: Đen.
● Kích thước tùy chỉnh, độ dày tối đa ~30mm.
● Thay vì chỉ mạ vật liệu màng chống tĩnh điện trên bề mặt, toàn bộ khối được làm bằng vật liệu tản tĩnh điện, có hiệu quả tản tĩnh điện tuyệt vời.
● Thích hợp làm đế cho các bộ phận máy móc chính xác hoặc các thành phần cần loại bỏ tĩnh điện
Đĩa cắt wafer bàn kẹp
● Thường được sử dụng để cắt và làm sạch wafer.
● Giá trị điện trở của gốm xốp: 106~108 ohm.
● Độ chính xác mài bề mặt đạt tới
● Khay cắt bánh quế 6", 8", 12" inch có đế bằng thép không gỉ.
● Độ đồng đều cao và khả năng hấp phụ cao.
Tấm nổi khí truyền động không tiếp xúc
● Sản phẩm có thể được nâng lên bằng không khí để đạt được hiệu quả treo và chuyển giao không tiếp xúc dưới áp suất dương.
● Kích thước thông dụng: 500*100*40, 750*100*40 và 1000*100*40mm.
● Gốm xốp là vật liệu tản tĩnh điện để tránh các vấn đề về tĩnh điện.
● Lượng khí tiêu thụ, áp suất cung cấp khí và chiều cao phao khí có thể được kiểm soát theo kích thước lỗ rỗng của gốm.
● Đường thở áp suất dương và áp suất âm có thể được thiết kế để cung cấp luồng không khí di chuyển trơn tru và ổn định.
● Gốm xốp được thiêu kết ở nhiệt độ cao có độ bền và khả năng chống mài mòn cao, không tạo ra bụi.
Vòng bi không khí
● Kích thước lỗ rỗng nhỏ (
● Có thể chịu được áp suất cao trong thời gian dài.
● Mức tiêu thụ khí tối thiểu và độ cứng khí tổng thể tuyệt vời.
● Có thể chịu được trọng lượng lớn (>100KG) một cách ổn định và không dễ tạo ra hiệu ứng búa khí.
● Có thể tùy chỉnh kích thước và hình dạng.
● Chất liệu gốm không dễ bị trầy xước, không sinh bụi, thích hợp sử dụng trên các máy móc có độ chính xác cao.
Mâm cặp chân không được gia nhiệt
● Quá trình hấp phụ và làm nóng vật phẩm cùng một lúc.
● Nhiệt độ gia nhiệt tối đa là 150 độ C.
● Các tấm gốm của mô-đun chân không gốm xốp có thể được sửa chữa và thay thế riêng lẻ.
● Kích thước của mô-đun chân không bằng gốm xốp có thể tùy chỉnh.
● Khả năng hấp phụ mạnh, dễ vận hành.
Ống gốm xốp
● Được thiết kế cho quy trình Roll-to-Roll.
● Đối với phim quang học, công nghệ in micro-nano, quy trình LCD màng mỏng.
● Áp dụng cho tất cả các loại quy trình màng mỏng, có thể sử dụng như một quy trình sản xuất liên tục.
● Có thể đạt được mục đích kép là hấp phụ áp suất âm và tuyển nổi khí áp suất dương.
● Ống gốm được làm bằng vật liệu chống tĩnh điện.
● Chiều dài lên tới ~700mm, đường kính ống lên tới ~200mm.
