เวเฟอร์ออกไซด์และเวเฟอร์บาง

ต่อไปนี้เป็นการใช้งานทั่วไปของเวเฟอร์ออกไซด์:

1. ชั้นไดอิเล็กตริก: ชั้นออกไซด์ เช่น ออกไซด์ความร้อนที่เคลือบบนเวเฟอร์ซิลิกอน ทำหน้าที่เป็นฉนวน ใช้เพื่อสร้างชั้นไดอิเล็กตริกที่แยกส่วนประกอบต่าง ๆ บนเวเฟอร์ด้วยไฟฟ้า

2. ชั้นพาสซีฟ: การเคลือบออกไซด์สามารถทำหน้าที่เป็นชั้นพาสซีฟ ช่วยปกป้องส่วนประกอบพื้นฐานจากปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อม ความชื้น และสิ่งปนเปื้อน ซึ่งจะช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือและอายุการใช้งานของอุปกรณ์

3. เกตออกไซด์: ในอุปกรณ์ MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) เวเฟอร์ออกไซด์จะถูกใช้เป็นเกตออกไซด์ ชั้นเกตออกไซด์ควบคุมการไหลของกระแสไฟฟ้าระหว่างบริเวณต้นทางและบริเวณเดรน ทำให้ทรานซิสเตอร์ทำงาน

4. อุปกรณ์ MEMS: การเคลือบออกไซด์ถูกนำมาใช้ในอุปกรณ์ MEMS เพื่อให้มีฉนวนป้องกัน ปกป้องชิ้นส่วนที่อ่อนไหว และอำนวยความสะดวกในการเคลื่อนตัวของโครงสร้างทางกล สามารถใช้ในเครื่องวัดความเร่ง เซ็นเซอร์แรงดัน ไมโครวาล์ว และการใช้งาน MEMS อื่นๆ

5. อุปกรณ์ BioMEMS: ในอุปกรณ์ BioMEMS เวเฟอร์ออกไซด์สามารถใช้เป็นสารเคลือบที่เข้ากันได้ทางชีวภาพ โดยสร้างชั้นป้องกันสำหรับปฏิสัมพันธ์ทางชีวภาพ ซึ่งช่วยให้สามารถผสานส่วนประกอบทางชีวภาพกับไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพื่อการใช้งานในด้านการดูแลสุขภาพ การวินิจฉัย และเทคโนโลยีชีวภาพได้

1. ไมโครอิเล็กทรอนิกส์: แผ่นเวเฟอร์บางใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เช่น วงจรรวม (IC) ทรานซิสเตอร์ และเซ็นเซอร์ ความบางของแผ่นเวเฟอร์ช่วยให้ผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีขนาดกะทัดรัดและมีประสิทธิภาพมากขึ้น

2. MEMS (ระบบไมโครอิเล็กโทรเมคานิกส์): แผ่นเวเฟอร์บางมีความจำเป็นในการผลิตอุปกรณ์ MEMS ซึ่งรวมเอาส่วนประกอบทางกลและไฟฟ้าเข้าด้วยกันในขนาดเล็ก อุปกรณ์ MEMS ใช้ในแอปพลิเคชันต่างๆ เช่น เครื่องวัดความเร่ง ไจโรสโคป เซ็นเซอร์วัดแรงดัน และไมโครโฟน

3. อุปกรณ์กำลัง: แผ่นเวเฟอร์บางๆ ถูกใช้ในการผลิตอุปกรณ์กำลัง เช่น ไดโอดกำลัง ทรานซิสเตอร์กำลัง และโมดูลกำลัง อุปกรณ์เหล่านี้ใช้ในงานอิเล็กทรอนิกส์กำลัง เช่น แหล่งจ่ายไฟ ไดรฟ์มอเตอร์ และระบบพลังงานหมุนเวียน

4. RFID (Radio Frequency Identification): แผ่นเวเฟอร์บางเฉียบช่วยให้สามารถผสานเทคโนโลยี RFID เข้ากับแผ่นฟอยล์บางหรือแม้แต่เอกสารกระดาษได้ ทำให้สามารถพัฒนาแท็ก RFID แบบยืดหยุ่นและน้ำหนักเบาที่สามารถใช้ในแอปพลิเคชันต่างๆ เช่น การจัดการสินค้าคงคลัง การติดตามทรัพย์สิน และระบบชำระเงินแบบไร้สัมผัส

5. ออปโตอิเล็กทรอนิกส์: แผ่นเวเฟอร์บางมีบทบาทสำคัญในการผลิตอุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ เช่น ไดโอดเปล่งแสง (LED) เซลล์โฟโตวอลตาอิค (เซลล์แสงอาทิตย์) และเซนเซอร์ออปติก ความบางของแผ่นเวเฟอร์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและประสิทธิผลของอุปกรณ์เหล่านี้

6. อุปกรณ์ชีวการแพทย์: เวเฟอร์บางๆ ถูกนำไปใช้งานในสาขาวิศวกรรมชีวการแพทย์เพื่อผลิตไบโอชิป อุปกรณ์แล็บบนชิป และเซนเซอร์แบบฝังได้ อุปกรณ์เหล่านี้ใช้ในการวินิจฉัยทางการแพทย์ ระบบส่งยา และการติดตามกระบวนการทางชีววิทยา