เซรามิกที่มีความแม่นยำสูง เซรามิกที่มีรูพรุน หัวจับสูญญากาศ และองค์ประกอบการลอยตัวด้วยอากาศ
โมดูลสูญญากาศเซรามิกพรุนขนาดใหญ่
● เหมาะสำหรับการถ่ายโอนลอยอากาศ การดูดซับ การตรวจจับ AOI ของแผง LCD พื้นที่ขนาดใหญ่
● เหมาะสำหรับกระบวนการตัดและการกลึงด้วย
● ขนาดสูงสุดของชิ้นงานหนึ่งชิ้นคือ 500*500มม.
● สามารถต่อได้ตามขนาดแผงสูงสุด 2,000*2,000 มม. หรือมากกว่า
● วัสดุที่สามารถกำจัดไฟฟ้าสถิตย์และหลีกเลี่ยงไม่ให้เกิดความเสียหายกับผลิตภัณฑ์
● วัสดุฐาน: หินแกรนิต, อลูมิเนียมรีดขึ้นรูป, โลหะผสมอลูมิเนียม
ส้อมเซรามิกป้องกันไฟฟ้าสถิตย์
● ค่าความต้านทาน: เซรามิกหนาแน่น 105~109 โอห์ม
● สี : สีดำ.
● ส้อมสั่งทำหลากหลายประเภท
● ความแข็งแรงสูง, ผลป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ได้ดีเยี่ยม
● ชิ้นงานทั้งหมดทำจากวัสดุเซรามิกป้องกันไฟฟ้าสถิตแบบเนื้อเดียวกันแทนพื้นผิวเซรามิกอะลูมินาที่ชุบด้วยวัสดุ ESD
ถาดรองจานแบบบาง
● พลังดูดสูง
● การเจียรความเรียบและขนานที่แม่นยำสูง
● ความพรุน 20-25%
● ความหยาบของพื้นผิว
● เซรามิกที่มีรูพรุนมีความต้านทานต่ำและคุณสมบัติป้องกันไฟฟ้าสถิตย์ที่ดี
● ความหนาสามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการ ความหนาทั่วไป: 0.7 มม., 1.0 มม., 2.0 มม.
● สำหรับการโหลด การดูดซับ และการทำความสะอาดเวเฟอร์ SiC และ GaAs
เซรามิกหนาแน่นกระจายไฟฟ้าสถิต
● ค่าความต้านทาน: 105~109 โอห์ม
● สี : สีดำ.
● ขนาดที่กำหนดเอง ความหนาสูงสุด ~30มม.
● แทนที่จะชุบฟิล์มป้องกันไฟฟ้าสถิตย์บนพื้นผิวเพียงอย่างเดียว บล็อกทั้งหมดทำจากวัสดุกระจายไฟฟ้าสถิตย์ ซึ่งมีประสิทธิภาพกระจายไฟฟ้าสถิตย์ได้ดีเยี่ยม
● เหมาะสำหรับเป็นฐานของชิ้นส่วนเครื่องจักรความแม่นยำหรือส่วนประกอบที่ต้องการกำจัดไฟฟ้าสถิต
แผ่นตัดเวเฟอร์แบบ Chuck Table
● นิยมใช้ในการตัดและทำความสะอาดเวเฟอร์
● ค่าความต้านทานเซรามิกที่มีรูพรุน: 106~108 โอห์ม
● ความแม่นยำในการเจียรพื้นผิวถึง
● ถาดหั่นเวเฟอร์ขนาด 6", 8", 12" พร้อมฐานสแตนเลส
● ความสม่ำเสมอสูงและการดูดซับสูง
แผ่นลอยอากาศส่งผ่านแบบไม่สัมผัส
● ผลิตภัณฑ์สามารถยกขึ้นด้วยอากาศเพื่อให้เกิดผลในการแขวนลอยและการถ่ายโอนแบบไม่สัมผัสภายใต้แรงดันบวก
● ขนาดทั่วไป: 500*100*40, 750*100*40 และ 1000*100*40มม.
● เซรามิกที่มีรูพรุนเป็นวัสดุที่ป้องกันไฟฟ้าสถิตย์เพื่อหลีกเลี่ยงปัญหาไฟฟ้าสถิตย์
● การใช้ลม, แรงดันอากาศที่จ่าย และความสูงของลูกลอยลม สามารถควบคุมได้ตามขนาดรูพรุนเซรามิก
● ทางเดินอากาศที่มีแรงดันบวกและลบสามารถออกแบบให้มีการไหลเวียนอากาศที่เคลื่อนไหวได้อย่างราบรื่นและเสถียร
● เซรามิกที่มีรูพรุนที่ผ่านการเผาที่อุณหภูมิสูง มีความแข็งแรงและทนต่อการสึกหรอสูง ซึ่งไม่ก่อให้เกิดฝุ่น
แบริ่งลม
● รูพรุนขนาดเล็ก (
● ทนต่อแรงดันสูงได้ในระยะยาว
● การใช้แก๊สขั้นต่ำและความแข็งแกร่งของแก๊สโดยรวมที่ยอดเยี่ยม
● สามารถรองรับน้ำหนักได้มาก (>100KG) ได้อย่างมั่นคง และไม่ก่อให้เกิดเอฟเฟกต์ค้อนลมได้ง่าย
● สามารถปรับขนาดและรูปร่างได้ตามต้องการ
● วัสดุเซรามิกไม่เป็นรอยขีดข่วนง่าย และไม่ก่อให้เกิดฝุ่น เหมาะสำหรับใช้กับเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูง
หัวจับสูญญากาศแบบอุ่น
● การดูดซับและความร้อนของสิ่งของในเวลาเดียวกัน
● อุณหภูมิความร้อนสูงสุดคือ 150 องศาเซลเซียส
● แผ่นเซรามิกของโมดูลสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนสามารถซ่อมแซมและเปลี่ยนได้ทีละแผ่น
● ขนาดของโมดูลสูญญากาศเซรามิกที่มีรูพรุนสามารถกำหนดเองได้
● การดูดซับที่แข็งแกร่ง ใช้งานง่าย
ท่อเซรามิคพรุน
● ออกแบบมาสำหรับกระบวนการ Roll-to-Roll
● สำหรับฟิล์มออปติคอล เทคโนโลยีการพิมพ์ไมโครนาโน กระบวนการฟิล์มบาง LCD
● ใช้ได้กับกระบวนการฟิล์มบางทุกชนิด สามารถใช้เป็นกระบวนการผลิตแบบต่อเนื่องได้
● สามารถบรรลุวัตถุประสงค์สองประการคือการดูดซับแรงดันลบและการทำให้ลอยอากาศแรงดันบวก
● ท่อเซรามิคทำจากวัสดุป้องกันไฟฟ้าสถิตย์
● ความยาวสูงสุดถึง ~700มม. เส้นผ่านศูนย์กลางท่อสูงสุดถึง ~200มม.
