Высокоточная керамика, пористая керамика, вакуумные зажимные приспособления и элементы воздушной флотации
Крупногабаритный пористый керамический вакуумный модуль
● Подходит для переноса воздушной флотации, адсорбции, обнаружения АОИ ЖК-панелей большой площади.
● Также подходит для резки и механической обработки.
● Максимальный размер одной детали — 500*500 мм.
● Его можно соединять в соответствии с размером панели, до 2000*2000 мм и более.
● Материалы, способные устранить статическое электричество и предотвратить повреждение изделий.
● Основной материал: гранитный камень, алюминиевый профиль, алюминиевый сплав.
Антистатическая керамическая вилка
● Значение сопротивления: 105~109 Ом, плотная керамика.
● Цвет: черный.
● Индивидуальная вилка различных типов.
● Высокая прочность, отличный антистатический эффект.
● Вся деталь изготовлена из однородного антистатического керамического материала вместо алюмокерамической поверхности, покрытой материалом ESD.
Тонкий лоток для хранения пластин
● Высокая мощность всасывания.
● Высокоточное шлифование плоскостности и параллельности.
● Пористость 20-25%.
● Шероховатость поверхности
● Пористая керамика с низким сопротивлением и хорошими антистатическими свойствами.
● Толщина может быть настроена в соответствии с требованиями. Обычная толщина: 0,7 мм, 1,0 мм, 2,0 мм.
● Для загрузки, адсорбции и очистки пластин SiC и GaAs.
Плотная керамика, рассеивающая статическое электричество
● Значение сопротивления: 105~109 Ом.
● Цвет: черный.
● Индивидуальный размер, максимальная толщина ~30 мм.
● Вместо нанесения антистатического пленочного материала только на поверхность, весь блок изготовлен из материала, рассеивающего статическое электричество, с превосходным эффектом рассеивания статического электричества.
● Подходит в качестве основы для деталей или компонентов точных машин, которым необходимо устранить статическое электричество.
Диск для резки пластин Chuck Table
● Обычно используется для резки и очистки пластин.
● Значение сопротивления пористой керамики: 106~108 Ом.
● Точность шлифования поверхности достигает
● Противень для нарезки вафель размером 6, 8, 12 дюймов с основанием из нержавеющей стали.
● Высокая однородность и высокая адсорбция.
Плавающая пластина с бесконтактной передачей воздуха
● Изделие можно поднимать по воздуху, достигая эффекта подвешивания и бесконтактного переноса под положительным давлением.
● Обычные размеры: 500*100*40, 750*100*40 и 1000*100*40 мм.
● Пористая керамика представляет собой материал, рассеивающий статическое электричество, что позволяет избежать проблем со статическим электричеством.
● Расход воздуха, давление подачи воздуха и высоту воздушного поплавка можно регулировать в зависимости от размера пор керамики.
● Воздуховоды с положительным и отрицательным давлением могут быть спроектированы для обеспечения плавного и стабильного движения воздушного потока.
● Пористая керамика, спеченная при высокой температуре, обладающая высокой прочностью и износостойкостью, не образующая пыли.
Воздушный подшипник
● Малый размер пор (
● Может выдерживать длительное высокое давление.
● Минимальное потребление газа и превосходная общая жесткость газа.
● Он может устойчиво выдерживать большой вес (>100 кг) и не подвержен эффекту удара.
● Размер и форму можно изменить.
● Керамический материал не царапается и не образует пыли, подходит для использования на высокоточных станках.
Подогреваемый вакуумный патрон
● Адсорбция и нагревание предметов одновременно.
● Максимальная температура нагрева — 150 градусов Цельсия.
● Керамические пластины пористого керамического вакуумного модуля можно ремонтировать и заменять по отдельности.
● Размер пористого керамического вакуумного модуля может быть изменен по индивидуальному заказу.
● Сильная адсорбция, простота эксплуатации.
Пористая керамическая трубка
● Разработано для процесса «из рулона в рулон».
● Для оптической пленки, технологии микро-нанопечати, тонкопленочного ЖК-процесса.
● Применимо ко всем видам тонкопленочных процессов, может использоваться как непрерывный производственный процесс.
● Он может достигать двойной цели: адсорбции отрицательного давления и воздушной флотации положительного давления.
● Керамическая трубка изготовлена из антистатического материала.
● Длина до ~700 мм, диаметр трубы до ~200 мм.