Projeto e Montagem de Máquinas para a Indústria de Semicondutores
Máquina de triagem automática de impurezas
Introdução: O braço robótico ortogonal combina com o sistema de reconhecimento de imagem CCD para rastrear impurezas. A câmera CCD é usada para capturar os itens, e o software identifica automaticamente as impurezas e calcula as coordenadas da localização das impurezas, e as tira pelo canudo.
Aplicação: Triagem de impurezas
Máquina de inspeção de fieiras de mesa
Introdução: O braço robótico ortogonal combina o sistema de reconhecimento de imagem CCD para detectar a fieira e identificar se ela está bloqueada ou desgastada.
Aplicação: Inspeção de fieiras, inspeção de microfuros, defeitos de superfície ou inspeção dimensional.
Sistema de alinhamento visual de alta precisão
Introdução: O sistema de alinhamento visual de alta precisão fornece principalmente alinhamento de alta precisão de dois objetos. A diferença do alinhamento visual coaxial geral é que os dois objetos em teste não precisam ser empilhados e usam alinhamento fora do eixo. Maneira.
Aplicação: Alinhamento de máscaras, alinhamento de nanoimpressão.
Máquina de vala de pinça flexível
Introdução: Carregamento e descarregamento automáticos, julgamento automático de imagem do alinhamento de ranhuras, corte de ranhuras. O processo de corte é totalmente automatizado, com velocidade e qualidade estáveis. O sistema de detecção de imagem autodesenvolvido determina se a pinça está rachada para controle de qualidade.
Aplicação: Corte automático de ranhuras por pinça elástica.
Máquina de medição de imagem bidimensional de alta precisão
Introdução:
Curso: 0,5 m * 1,5 m
Estrutura: Estrutura de granito
Dispositivo de acionamento: motor linear (acionamento único)
Dispositivo de guia: trilho deslizante linear
Dispositivo de imagem: CCD+ sistema óptico microscópico + sistema de foco a laser
Dispositivo de feedback: interferômetro a laser
Aplicação: Detecção de tamanho e defeitos do painel, detecção de placa PCB
Máquina de medição de imagem bidimensional de alta precisão
Introdução:
Curso: 1,3 m * 1,5 m
Estrutura: Estrutura de granito
Dispositivo de acionamento: motor linear (acionamento duplo)
Dispositivo de guia: trilho deslizante linear
Dispositivo de imagem: CCD + sistema óptico microscópico + sistema de foco a laser
Dispositivo de feedback: interferômetro a laser
Aplicação: Detecção de tamanho e defeitos do painel, detecção de placa PCB
Projeto de máquina de medição de imagem bidimensional de curso longo
Introdução:
Curso: 2m*1,3m (vão do pórtico maior que 2m)
Estrutura: base de granito + estrutura de alumínio
Dispositivo de acionamento: motor linear
Dispositivo de guia: trilho deslizante linear
Dispositivo de imagem: Equipado com microscópio metalográfico
Dispositivo de feedback: régua óptica
Aplicação: Detecção de tamanho e defeitos do painel, detecção de placa PCB
Máquina de medição de imagem bidimensional de alta precisão
Introdução:
Curso: 0,75 m * 0,9 m
Estrutura:Estrutura de granito
Dispositivo de acionamento: motor linear
Dispositivo de guia: trilho de guia flutuante no ar
Dispositivo de imagem: CCD + sistema óptico microscópico + sistema de foco a laser
Dispositivo de feedback: interferômetro a laser
Aplicação: Tamanho do painel e detecção de defeitos, inspeção de placa PCB
Máquina de medição de espessura de substrato e diâmetro externo
Introdução: A plataforma de posicionamento do motor linear do eixo XY oco é combinada com uma sonda a laser para medir a espessura e a deformação do substrato e é combinada com um dispositivo de medição de imagem para detectar diâmetro externo e defeitos.
A parte inferior da plataforma é equipada com um LIFT PIN, que levanta e descarrega materiais automaticamente. Pode ser combinado com o braço robótico SCARA para carga e descarga automáticas.
Aplicação: Medição de espessura de substrato, empenamento, diâmetro externo e detecção de defeitos.
