Hoognauwkeurige keramiek, poreuze keramiek, vacuümklemmen en luchtflotatie-elementen
Poreuze keramische vacuümmodule van groot formaat
● Geschikt voor luchtflotatieoverdracht, adsorptie, AOI-detectie van LCD-panelen met een groot oppervlak.
● Ook geschikt voor snij- en bewerkingsprocessen.
● De maximale grootte van een enkel stuk is 500*500mm.
● Het kan worden gesplitst op basis van de paneelgrootte, tot 2000*2000mm of meer.
● Materialen die statische elektriciteit kunnen elimineren en voorkomen dat de producten beschadigd raken.
● Basismateriaal: graniet, aluminium extrusie, aluminiumlegering.
Antistatische keramische vork
● Weerstandswaarde: 105~109 ohm dichte keramiek.
● Kleur: Zwart.
● Aangepaste vork met verschillende typen.
● Hoge sterkte, uitstekende antistatische werking.
● Het gehele stuk is gemaakt van homogeen antistatisch keramisch materiaal in plaats van een aluminiumoxide keramisch oppervlak bedekt met ESD-materiaal.
Dunne plaatdragerbak
● Hoge zuigkracht.
● Zeer nauwkeurig vlak- en parallelliteitsslijpen.
● Porositeit 20-25%.
● Oppervlakteruwheid
● Poreuze keramiek met lage weerstand en goede antistatische eigenschappen.
● Dikte kan worden aangepast aan de vereisten. Veelvoorkomende dikte: 0,7 mm, 1,0 mm, 2,0 mm.
● Voor het laden, adsorptie en reinigen van SiC- en GaAs-wafers.
Statisch-dissiperende dichte keramiek
● Weerstandswaarde: 105~109 ohm.
● Kleur: Zwart.
● Aangepaste maat, maximale dikte ~30 mm.
● In plaats van alleen antistatisch filmmateriaal op het oppervlak te plateren, is het hele blok gemaakt van statisch-dissiperend materiaal, met een uitstekend statisch-dissiperend effect.
● Geschikt als basis voor precisiemachineonderdelen of componenten die statische elektriciteit moeten elimineren
Chuck Tafel Wafer Snijschijf
● Wordt veel gebruikt voor het snijden en reinigen van wafers.
● Poreuze keramische weerstandswaarde: 106~108 ohm.
● De nauwkeurigheid van het oppervlakteslijpen bedraagt
● 6", 8", 12" inch wafelblokjesvorm met roestvrijstalen basis.
● Hoge uniformiteit en hoge adsorptie.
Contactloze transmissie lucht zwevende plaat
● Het product kan met lucht worden opgetild om het effect van ophanging en contactloze overdracht onder positieve druk te bereiken.
● Veel voorkomende maten: 500*100*40, 750*100*40 en 1000*100*40mm.
● Poreus keramiek is gemaakt van een materiaal dat statische elektriciteit afvoert, om problemen met statische elektriciteit te voorkomen.
● Luchtverbruik, luchttoevoerdruk en luchtvlotterhoogte kunnen worden geregeld op basis van de keramische poriegrootte.
● Er kunnen positieve en negatieve drukluchtwegen worden ontworpen om een soepele en stabiele luchtstroom te garanderen.
● Poreus keramiek dat bij hoge temperaturen is gesinterd, heeft een hoge sterkte en slijtvastheid en genereert geen stof.
Luchtlager
● Kleine poriegrootte (
● Kan langdurig hoge druk weerstaan.
● Minimaal gasverbruik en uitstekende algehele gasstijfheid.
● Het kan stabiel een groot gewicht dragen (>100 kg) en het is niet gemakkelijk om een luchthamereffect te produceren.
● Grootte en vorm kunnen worden aangepast.
● Keramisch materiaal krast niet snel en genereert geen stof, waardoor het geschikt is voor gebruik op zeer nauwkeurige machines.
Verwarmde vacuümklauw
● Adsorptie en verwarming van de items tegelijkertijd.
● De maximale verwarmingstemperatuur is 150 graden Celsius.
● De keramische platen van de poreuze keramische vacuümmodule kunnen afzonderlijk worden gerepareerd en vervangen.
● De grootte van de poreuze keramische vacuümmodule kan worden aangepast.
● Sterke adsorptie, eenvoudig te bedienen.
Poreuze keramische buis
● Ontworpen voor het Roll-to-Roll-proces.
● Voor optische film, micro-nano-imprinttechnologie, dunnefilm-LCD-proces.
● Toepasbaar op alle soorten dunnefilmprocessen, kan worden gebruikt als een continu productieproces.
● Het kan het dubbele doel van negatieve drukadsorptie en positieve drukluchtflotatie bereiken.
● De keramische buis is gemaakt van antistatisch materiaal.
● Lengte tot ~700 mm, buisdiameter tot ~200 mm.
