ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ ಮತ್ತು ಥಿನ್ ವೇಫರ್
ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ಸ್
ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ಗಳು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ಗಳು, MEMS (ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್), ಮತ್ತು BioMEMS (ಬಯೋಲಾಜಿಕಲ್ ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್) ಸಾಧನಗಳ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ಆಕ್ಸೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು ವೇಫರ್ಗೆ ಅನ್ವಯಿಸಿದಾಗ, ಅವು ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಅಥವಾ ಪ್ಯಾಸಿವೇಶನ್ ಲೇಯರ್ ಅನ್ನು ಸೇರಿಸುತ್ತವೆ, ಇದು ಈ ಸಾಧನಗಳ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಅಗತ್ಯವಾಗಿರುತ್ತದೆ.

ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಕೆಲವು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:
1. ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಲೇಯರ್: ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್ಗಳ ಮೇಲೆ ಶೇಖರಿಸಲಾದ ಥರ್ಮಲ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ನಂತಹ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಲೇಪನಗಳು ಅವಾಹಕಗಳಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ವೇಫರ್ನಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಘಟಕಗಳನ್ನು ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತ್ಯೇಕಿಸುವ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಪದರವನ್ನು ರಚಿಸಲು ಅವುಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
2. ಪ್ಯಾಸಿವೇಶನ್ ಲೇಯರ್: ಆಕ್ಸೈಡ್ ಲೇಪನಗಳು ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಪದರವಾಗಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ, ಪರಿಸರ ಅಂಶಗಳು, ತೇವಾಂಶ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯಕಾರಕಗಳಿಂದ ಆಧಾರವಾಗಿರುವ ಅಂಶಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸುತ್ತವೆ. ಇದು ಸಾಧನಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ ಮತ್ತು ದೀರ್ಘಾಯುಷ್ಯವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
3. ಗೇಟ್ ಆಕ್ಸೈಡ್: MOS (ಮೆಟಲ್-ಆಕ್ಸೈಡ್-ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್) ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಗೇಟ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ಗಳಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಗೇಟ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಪದರವು ಮೂಲ ಮತ್ತು ಡ್ರೈನ್ ಪ್ರದೇಶಗಳ ನಡುವಿನ ಪ್ರವಾಹದ ಹರಿವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸುತ್ತದೆ, ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ಗಳ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
4. MEMS ಸಾಧನಗಳು: ಆಕ್ಸೈಡ್ ಲೇಪನಗಳನ್ನು MEMS ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ನಿರೋಧನವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು, ಸೂಕ್ಷ್ಮ ಘಟಕಗಳನ್ನು ರಕ್ಷಿಸಲು ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ರಚನೆಗಳ ಚಲನೆಯನ್ನು ಸುಲಭಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಅಕ್ಸೆಲೆರೊಮೀಟರ್ಗಳು, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು, ಮೈಕ್ರೋವಾಲ್ವ್ಗಳು ಮತ್ತು ಇತರ MEMS ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು.
5. BioMEMS ಸಾಧನಗಳು: BioMEMS ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ, ಜೈವಿಕ ಪರಸ್ಪರ ಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ ರಕ್ಷಣಾತ್ಮಕ ಪದರವನ್ನು ರಚಿಸುವ, ಜೈವಿಕ ಹೊಂದಾಣಿಕೆಯ ಲೇಪನಗಳಿಗಾಗಿ ಆಕ್ಸೈಡ್ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ಬಳಸಬಹುದು. ಇದು ಆರೋಗ್ಯ, ರೋಗನಿರ್ಣಯ ಮತ್ತು ಜೈವಿಕ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿನ ಅನ್ವಯಗಳಿಗೆ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ನೊಂದಿಗೆ ಜೈವಿಕ ಘಟಕಗಳ ಏಕೀಕರಣವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು
ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ವಿವಿಧ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿವೆ. ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳ ಕೆಲವು ಸಾಮಾನ್ಯ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳು ಇಲ್ಲಿವೆ:

1. ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ಗಳು (IC ಗಳು), ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಂವೇದಕಗಳಂತಹ ಮೈಕ್ರೋಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳನ್ನು ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ನ ತೆಳುತೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಸಾಂದ್ರವಾದ ಮತ್ತು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಘಟಕಗಳಿಗೆ ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
2. MEMS (ಮೈಕ್ರೋ-ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋ-ಮೆಕ್ಯಾನಿಕಲ್ ಸಿಸ್ಟಮ್ಸ್): ಸಣ್ಣ ಪ್ರಮಾಣದಲ್ಲಿ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುತ್ ಘಟಕಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸುವ MEMS ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಅತ್ಯಗತ್ಯ. MEMS ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಅಕ್ಸೆಲೆರೊಮೀಟರ್ಗಳು, ಗೈರೊಸ್ಕೋಪ್ಗಳು, ಒತ್ತಡ ಸಂವೇದಕಗಳು ಮತ್ತು ಮೈಕ್ರೊಫೋನ್ಗಳಂತಹ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
3. ಪವರ್ ಸಾಧನಗಳು: ಪವರ್ ಡಯೋಡ್ಗಳು, ಪವರ್ ಟ್ರಾನ್ಸಿಸ್ಟರ್ಗಳು ಮತ್ತು ಪವರ್ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ಗಳಂತಹ ವಿದ್ಯುತ್ ಸಾಧನಗಳ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಈ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜುಗಳು, ಮೋಟಾರ್ ಡ್ರೈವ್ಗಳು ಮತ್ತು ನವೀಕರಿಸಬಹುದಾದ ಶಕ್ತಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಸೇರಿದಂತೆ ಪವರ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
4. RFID (ರೇಡಿಯೋ ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಐಡೆಂಟಿಫಿಕೇಶನ್): ಅಲ್ಟ್ರಾ-ತೆಳುವಾದ ವೇಫರ್ಗಳು RFID ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವನ್ನು ತೆಳುವಾದ ಹಾಳೆಗಳು ಅಥವಾ ಕಾಗದದ ದಾಖಲೆಗಳಲ್ಲಿ ಏಕೀಕರಣಗೊಳಿಸುವುದನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ. ದಾಸ್ತಾನು ನಿರ್ವಹಣೆ, ಆಸ್ತಿ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಸಂಪರ್ಕರಹಿತ ಪಾವತಿ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳಂತಹ ವಿವಿಧ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದಾದ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುವ ಮತ್ತು ಹಗುರವಾದ RFID ಟ್ಯಾಗ್ಗಳನ್ನು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಪಡಿಸಲು ಇದು ಅನುಮತಿಸುತ್ತದೆ.
5. ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್: ಬೆಳಕು-ಹೊರಸೂಸುವ ಡಯೋಡ್ಗಳು (ಎಲ್ಇಡಿಗಳು), ದ್ಯುತಿವಿದ್ಯುಜ್ಜನಕ ಕೋಶಗಳು (ಸೌರ ಕೋಶಗಳು) ಮತ್ತು ಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಸಂವೇದಕಗಳಂತಹ ಆಪ್ಟೊಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ವೇಫರ್ನ ತೆಳ್ಳಗೆ ಈ ಸಾಧನಗಳ ದಕ್ಷತೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಸಹಾಯ ಮಾಡುತ್ತದೆ.
6. ಬಯೋಮೆಡಿಕಲ್ ಸಾಧನಗಳು: ಬಯೋಚಿಪ್ಗಳು, ಲ್ಯಾಬ್-ಆನ್-ಎ-ಚಿಪ್ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಅಳವಡಿಸಬಹುದಾದ ಸಂವೇದಕಗಳ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ಬಯೋಮೆಡಿಕಲ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ಗಳನ್ನು ಕಂಡುಕೊಳ್ಳುತ್ತವೆ. ಈ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ವೈದ್ಯಕೀಯ ರೋಗನಿರ್ಣಯ, ಔಷಧ ವಿತರಣಾ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳು ಮತ್ತು ಜೈವಿಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೇಲ್ವಿಚಾರಣೆಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.
