Keramik með mikilli nákvæmni, gljúpt keramik, tómarúmsklemmur og loftflotþættir
Stór stærð porous keramik tómarúm mát
● Hentar fyrir loftflotflutning, aðsog, AOI uppgötvun á stórum LCD spjöldum.
● Hentar einnig til skurðar- og vinnsluferla.
● Hámarksstærð eins stykkis er 500 * 500 mm.
● Það er hægt að splæsa í samræmi við stærð spjaldsins, allt að 2000 * 2000 mm eða meira.
● Efni sem geta útrýmt stöðurafmagni og komið í veg fyrir að vörurnar skemmist.
● Grunnefni: granítsteinn, álpressa, álblöndu.

Antistatic keramik gaffal
● Viðnámsgildi: 105 ~ 109 ohm þétt keramik.
● Litur: Svartur.
● Sérsniðin gaffal með ýmsum gerðum.
● Hár styrkur, framúrskarandi antistatic áhrif.
● Allt stykkið er úr einsleitu antistatic keramik efni í stað súráls keramik yfirborðs húðað með ESD efni.

Þunnur plötuburðarbakki
● Mikil sogkraftur.
● Mikil nákvæmni flatneskju og samsíða mala.
● Grop 20-25%.
● Grófleiki yfirborðs
● Porous keramik með lágt viðnám og góða antistatic eiginleika.
● Þykkt er hægt að aðlaga í samræmi við kröfur. Algeng þykkt: 0,7 mm, 1,0 mm, 2,0 mm.
● Til hleðslu, aðsogs og hreinsunar á SiC og GaAs diskum.

þétt keramik sem dreifir truflanir
● Viðnámsgildi: 105~109 ohm.
● Litur: Svartur.
● Sérsniðin stærð, hámarksþykkt ~30mm.
● Í stað þess að hylja aðeins antistatic filmuefni á yfirborðinu, er allt kubburinn úr truflanir-dreifandi efni, með framúrskarandi truflanir-dreifandi áhrif.
● Hentar sem grunnur nákvæmni vélarhluta eða íhluta sem þurfa að útrýma stöðurafmagni

Chuck Table Wafer Cut Disc
● Almennt notað til að klippa og þrífa oblátur.
● Porous keramik viðnám gildi: 106 ~ 108 ohm.
● Nákvæmni yfirborðsslípun nær að
● 6", 8", 12" tommu teningabakka með ryðfríu stáli.
● Mikil einsleitni og mikil aðsog.

Snertilaus sendingarloftfljótandi plata
● Hægt er að lyfta vörunni með lofti til að ná fram áhrifum fjöðrunar og snertilausrar flutnings undir jákvæðum þrýstingi.
● Algengar stærðir: 500*100*40, 750*100*40 og 1000*100*40mm.
● Porous keramik er í truflanir-dreifandi efni til að forðast truflanir rafmagns vandamál.
● Hægt er að stjórna loftnotkun, loftþrýstingi og loftflothæð í samræmi við keramikholastærðina.
● Hægt er að hanna öndunarveg með jákvæðum og neikvæðum þrýstingi til að veita slétt og stöðugt hreyfanlegt loftflæði.
● Porous keramik hertað við háan hita með miklum styrk og slitþol, sem myndar ekki ryk.

Loftlag
● Lítil holastærð (
● Þolir langtíma háþrýsting.
● Lágmarks gasnotkun og framúrskarandi heildarstífleiki gass.
● Það getur stöðugt borið mikla þyngd (> 100KG) og er ekki auðvelt að framleiða lofthamaráhrif.
● Hægt er að aðlaga stærð og lögun.
● Keramik efni er ekki auðvelt að klóra, og myndar ekki ryk, hentugur til notkunar á hárnákvæmni vélar.

Upphituð lofttæmisspenna
● Aðsog og hitun hlutanna á sama tíma.
● Hámarks hitunarhiti er 150 gráður á Celsíus.
● Hægt er að gera við keramikplöturnar á porous keramik tómarúmseiningunni og skipta út fyrir sig.
● Hægt er að aðlaga stærð porous keramik tómarúmseiningarinnar.
● Sterkt aðsog, auðvelt í notkun.

Porous keramik rör
● Hannað fyrir Roll-to-Roll ferli.
● Fyrir sjónfilmu, ör-nano áprentunartækni, þunnfilmu LCD ferli.
● Gildir fyrir alls kyns þunnt filmuferli, hægt að nota sem samfellt framleiðsluferli.
● Það getur náð tvíþættum tilgangi neikvæðs þrýstings aðsogs og jákvæðs þrýstings loftflots.
● Keramik rör er úr antistatic efni.
● Lengd allt að ~700mm, pípuþvermál allt að ~200mm.

