Keramik Presisi Tinggi, Keramik Berpori, Chuck Vakum, dan Elemen Flotasi Udara
Modul vakum keramik berpori ukuran besar
● Cocok untuk transfer flotasi udara, adsorpsi, deteksi AOI panel LCD area besar.
● Juga cocok untuk proses pemotongan dan permesinan.
● Ukuran maksimum satu buah adalah 500*500mm.
● Dapat disambung sesuai ukuran panel, hingga 2000*2000mm atau lebih.
● Bahan yang dapat menghilangkan listrik statis dan menghindari produk dari kerusakan.
● Bahan dasar: batu granit, ekstrusi aluminium, paduan aluminium.
Garpu Keramik Antistatis
● Nilai resistansi: keramik padat 105~109 ohm.
● Warna: Hitam.
● Garpu yang disesuaikan dengan berbagai jenis.
● Kekuatan tinggi, efek antistatis yang sangat baik.
● Seluruh bagian terbuat dari bahan keramik antistatik homogen, bukan permukaan keramik alumina yang dilapisi bahan ESD.
Baki pembawa pelat tipis
● Daya hisap tinggi.
● Penggilingan kerataan dan paralelisme presisi tinggi.
● Porositas 20-25%.
● Kekasaran permukaan
● Keramik berpori dengan resistansi rendah dan sifat antistatis yang baik.
● Ketebalan dapat disesuaikan dengan kebutuhan. Ketebalan umum: 0,7 mm, 1,0 mm, 2,0 mm.
● Untuk pemuatan, penyerapan, dan pembersihan wafer SiC dan GaAs.
Keramik padat penghilang statis
● Nilai resistansi: 105~109 ohm.
● Warna: Hitam.
● Ukuran khusus, ketebalan maksimum ~30mm.
● Alih-alih hanya melapisi permukaannya dengan bahan film antistatis, seluruh blok dibuat dari bahan penghilang statis, dengan efek penghilang statis yang sangat baik.
● Cocok sebagai dasar komponen atau suku cadang mesin presisi yang perlu menghilangkan listrik statis
Cakram Pemotong Wafer Meja Chuck
● Umumnya digunakan untuk pemotongan dan pembersihan wafer.
● Nilai resistansi keramik berpori: 106~108 ohm.
● Akurasi penggilingan permukaan mencapai
● Nampan pemotong wafer berukuran 6", 8", 12" inci dengan alas baja tahan karat.
● Keseragaman tinggi dan daya serap tinggi.
Pelat mengambang udara transmisi non-kontak
● Produk dapat diangkat dengan udara untuk mencapai efek suspensi dan pemindahan non-kontak di bawah tekanan positif.
● Ukuran umum: 500*100*40, 750*100*40 dan 1000*100*40mm.
● Keramik berpori merupakan material yang dapat menghilangkan listrik statis untuk menghindari masalah listrik statis.
● Konsumsi udara, tekanan pasokan udara, dan tinggi aliran udara dapat dikontrol sesuai dengan ukuran pori keramik.
● Saluran udara bertekanan positif dan negatif dapat dirancang untuk menyediakan aliran udara bergerak yang lancar dan stabil.
● Keramik berpori yang disinter pada suhu tinggi dengan kekuatan dan ketahanan aus yang tinggi, yang tidak menghasilkan debu.
Bantalan Udara
● Ukuran pori kecil (
● Dapat menahan tekanan tinggi jangka panjang.
● Konsumsi gas minimal dan kekakuan gas keseluruhan yang sangat baik.
● Dapat menahan beban besar secara stabil (>100KG) dan tidak mudah menimbulkan efek palu udara.
● Ukuran dan bentuk dapat disesuaikan.
● Bahan keramik tidak mudah tergores, dan tidak menimbulkan debu, cocok digunakan pada mesin presisi tinggi.
Chuck vakum yang dipanaskan
● Penyerapan dan pemanasan barang secara bersamaan.
● Suhu pemanasan maksimum adalah 150 derajat Celsius.
● Pelat keramik modul vakum keramik berpori dapat diperbaiki dan diganti satu per satu.
● Ukuran modul vakum keramik berpori dapat disesuaikan.
● Daya serap kuat, mudah dioperasikan.
Tabung Keramik Berpori
● Dirancang untuk proses Roll-to-Roll.
● Untuk film optik, teknologi pencetakan mikro-nano, proses LCD film tipis.
● Berlaku untuk semua jenis proses film tipis, dapat digunakan sebagai proses produksi berkelanjutan.
● Dapat mencapai tujuan ganda yaitu penyerapan tekanan negatif dan flotasi udara tekanan positif.
● Tabung keramik terbuat dari bahan antistatis.
● Panjang hingga ~700mm, diameter pipa hingga ~200mm.
