Hochpräzise Keramik, poröse Keramik, Vakuumspannfutter und Luftflotationselemente
Großes poröses Keramik-Vakuummodul
● Geeignet für Luftflotationstransfer, Adsorption und AOI-Erkennung von großflächigen LCD-Panels.
● Auch für Schneid- und Zerspanungsprozesse geeignet.
● Die maximale Größe eines Einzelstücks beträgt 500 x 500 mm.
● Es kann entsprechend der Plattengröße bis zu 2000 x 2000 mm oder mehr gespleißt werden.
● Materialien, die statische Elektrizität beseitigen und so eine Beschädigung der Produkte verhindern können.
● Grundmaterial: Granitstein, Aluminium-Strangpressprofil, Aluminiumlegierung.
Antistatische Keramikgabel
● Widerstandswert: 105–109 Ohm, dichte Keramik.
● Farbe: Schwarz.
● Kundenspezifische Gabeln verschiedener Typen.
● Hohe Festigkeit, hervorragende antistatische Wirkung.
● Das gesamte Teil besteht aus homogenem, antistatischem Keramikmaterial anstelle einer mit ESD-Material beschichteten Aluminiumoxidkeramikoberfläche.
Dünnes Plattenträgerfach
● Hohe Saugkraft.
● Hochpräzises Ebenheits- und Parallelschleifen.
● Porosität 20–25 %.
● Oberflächenrauheit
● Poröse Keramik mit geringem Widerstand und guten antistatischen Eigenschaften.
● Die Dicke kann je nach Bedarf angepasst werden. Übliche Dicke: 0,7 mm, 1,0 mm, 2,0 mm.
● Zum Laden, Adsorbieren und Reinigen von SiC- und GaAs-Wafern.
Statisch ableitende, dichte Keramik
● Widerstandswert: 105–109 Ohm.
● Farbe: Schwarz.
● Kundenspezifische Größe, maximale Dicke ~30 mm.
● Anstatt nur die Oberfläche mit einem antistatischen Filmmaterial zu beschichten, besteht der gesamte Block aus statikableitendem Material mit hervorragender statikableitender Wirkung.
● Geeignet als Basis für Präzisionsmaschinenteile oder Komponenten, bei denen statische Elektrizität abgeführt werden muss
Chuck Table Wafer-Schneidescheibe
● Wird häufig zum Schneiden und Reinigen von Wafern verwendet.
● Widerstandswert der porösen Keramik: 106–108 Ohm.
● Die Oberflächenschleifgenauigkeit erreicht
● 6", 8" und 12" Zoll große Wafer-Würfelschale mit Edelstahlsockel.
● Hohe Gleichmäßigkeit und hohe Adsorption.
Berührungslose Luftübertragungsplatte
● Das Produkt kann mit der Luft angehoben werden, um den Effekt der Aufhängung und der berührungslosen Übertragung unter Überdruck zu erzielen.
● Übliche Größen: 500*100*40, 750*100*40 und 1000*100*40 mm.
● Poröse Keramik besteht aus statisch ableitendem Material, um Probleme mit statischer Elektrizität zu vermeiden.
● Luftverbrauch, Luftversorgungsdruck und Luftschwimmerhöhe können entsprechend der Keramikporengröße gesteuert werden.
● Atemwege mit positivem und negativem Druck können so gestaltet werden, dass ein gleichmäßiger und stabiler Luftstrom gewährleistet ist.
● Bei hoher Temperatur gesinterte, poröse Keramik mit hoher Festigkeit und Verschleißfestigkeit, die keinen Staub erzeugt.
Luftlager
● Kleine Porengröße (
● Hält dauerhaft hohem Druck stand.
● Minimaler Gasverbrauch und hervorragende Gesamtgassteifigkeit.
● Es kann stabil große Gewichte (> 100 kg) tragen und erzeugt nicht so leicht einen Lufthammereffekt.
● Größe und Form können individuell angepasst werden.
● Keramikmaterial verkratzt nicht so leicht und erzeugt keinen Staub; geeignet für den Einsatz auf hochpräzisen Maschinen.
Beheizte Vakuumspannplatte
● Gleichzeitiges Aufsaugen und Erhitzen der Gegenstände.
● Die maximale Heiztemperatur beträgt 150 Grad Celsius.
● Die Keramikplatten des porösen Keramik-Vakuummoduls können einzeln repariert und ausgetauscht werden.
● Die Größe des porösen Keramik-Vakuummoduls kann individuell angepasst werden.
● Starke Adsorption, einfach zu bedienen.
Poröses Keramikrohr
● Entwickelt für das Roll-to-Roll-Verfahren.
● Für optische Filme, Mikro-Nano-Prägetechnologie, Dünnschicht-LCD-Verfahren.
● Anwendbar auf alle Arten von Dünnschichtprozessen, kann als kontinuierlicher Produktionsprozess verwendet werden.
● Es kann den doppelten Zweck der Unterdruckadsorption und der Überdruckluftflotation erfüllen.
● Keramikrohr besteht aus antistatischem Material.
● Länge bis zu ~700mm, Rohrdurchmesser bis zu ~200mm.
