Konstruktion und Montage von Maschinen für die Halbleiterindustrie
Automatische Siebmaschine für Verunreinigungen
Einführung: Der orthogonale Roboterarm wird mit dem CCD-Bilderkennungssystem kombiniert, um Verunreinigungen zu erkennen. Die CCD-Kamera wird zum Erfassen der Gegenstände verwendet, und die Software identifiziert die Verunreinigungen automatisch, berechnet die Koordinaten der Verunreinigungen und entfernt sie durch den Strohhalm.
Anwendung: Screening auf Verunreinigungen
Desktop-Spinndüsen-Inspektionsmaschine
Einführung: Der orthogonale Roboterarm kombiniert das CCD-Bilderkennungssystem, um die Spinndüse zu erkennen und festzustellen, ob die Spinndüse blockiert oder abgenutzt ist.
Anwendung: Spinndüsenprüfung, Mikrolochprüfung, Oberflächendefekt- oder Maßprüfung.
Hochpräzises visuelles Ausrichtungssystem
Einführung: Das hochpräzise visuelle Ausrichtungssystem ermöglicht hauptsächlich die hochpräzise Ausrichtung zweier Objekte. Der Unterschied zur allgemeinen koaxialen visuellen Ausrichtung besteht darin, dass die beiden zu testenden Objekte nicht gestapelt werden müssen und eine außeraxiale Ausrichtung verwendet wird. Weg.
Anwendung: Maskenausrichtung, Nanoimprint-Ausrichtung.
Grabenfräse mit flexibler Spannzange
Einführung: Automatisches Laden und Entladen, automatische Bildbeurteilung der Nutausrichtung, Nutschneiden. Der Schneidvorgang ist vollautomatisch, mit stabiler Geschwindigkeit und Qualität. Das selbst entwickelte Bilderkennungssystem bestimmt zur Qualitätskontrolle, ob die Spannzange gerissen ist.
Anwendung: Automatisches Nutenschneiden durch elastische Spannzange.
Hochpräzise zweidimensionale Bildmessmaschine
Einführung:
Hub: 0,5 m x 1,5 m
Struktur: Granitrahmen
Antriebsart: Linearmotor (Einzelantrieb)
Führungsvorrichtung: Lineargleitschiene
Bildgebungsgerät: CCD + mikroskopisches optisches System + Laserfokussierungssystem
Rückmeldegerät: Laser-Interferometer
Anwendung: Plattengrößen- und Defekterkennung, Leiterplattenerkennung
Hochpräzise zweidimensionale Bildmessmaschine
Einführung:
Hub: 1,3 m * 1,5 m
Struktur: Granitrahmen
Antriebsvorrichtung: Linearmotor (Doppelantrieb)
Führungsvorrichtung: Lineargleitschiene
Bildgebungsgerät: CCD + mikroskopisches optisches System + Laserfokussierungssystem
Rückmeldegerät: Laser-Interferometer
Anwendung: Plattengrößen- und Defekterkennung, Leiterplattenerkennung
Entwurf einer zweidimensionalen Bildmessmaschine mit großem Hub
Einführung:
Hub: 2 m x 1,3 m (Portalspannweite mehr als 2 m)
Struktur: Granitsockel + Aluminiumrahmen
Antriebsvorrichtung: Linearmotor
Führungsvorrichtung: Lineargleitschiene
Bildgebungsgerät: Ausgestattet mit metallografischem Mikroskop
Rückmeldungsgerät: optisches Lineal
Anwendung: Plattengrößen- und Defekterkennung, Leiterplattenerkennung
Hochpräzise zweidimensionale Bildmessmaschine
Einführung:
Hub: 0,75 m * 0,9 m
Struktur: Granitrahmen
Antriebsvorrichtung: Linearmotor
Führungsvorrichtung: luftgelagerte Führungsschiene
Bildgebungsgerät: CCD + mikroskopisches optisches System + Laserfokussierungssystem
Rückmeldegerät: Laser-Interferometer
Anwendung: Plattengrößen- und Defekterkennung, Leiterplatteninspektion
Substratdicken- und Außendurchmesser-Messmaschine
Einführung: Die hohle XY-Achsen-Linearmotor-Positionierungsplattform ist mit einer Lasersonde zum Messen der Dicke und Verformung des Substrats kombiniert und mit einem Bildmessgerät zum Erkennen von Außendurchmesser und Defekten kombiniert.
Die Unterseite der Plattform ist mit einem LIFT PIN ausgestattet, der Materialien automatisch anhebt und entlädt. Er kann mit dem SCARA-Roboterarm zum automatischen Be- und Entladen kombiniert werden.
Anwendung: Messung von Substratdicke, Verzug und Außendurchmesser sowie Defekterkennung.
