Высокадакладная кераміка, сітаватая кераміка, вакуумныя патроны і элементы паветранай флотацыі
Вакуумны модуль з порыстай керамікі вялікага памеру
● Падыходзіць для паветранай флотацыйнай перадачы, адсорбцыі, выяўлення AOI ВК-панэляў вялікай плошчы.
● Таксама падыходзіць для працэсаў рэзкі і апрацоўкі.
● Максімальны памер аднаго кавалка 500*500 мм.
● Яго можна зрошчваць у залежнасці ад памеру панэлі, да 2000*2000 мм і больш.
● Матэрыялы, якія могуць ліквідаваць статычную электрычнасць і пазбегнуць пашкоджання вырабаў.
● Асноўны матэрыял: гранітны камень, экструзія алюмінія, алюмініевы сплаў.
Антыстатычная керамічная відэлец
● Значэнне супраціву: 105~109 Ом, шчыльная кераміка.
● Колер: чорны.
● Індывідуальныя відэльцы рознага тыпу.
● Высокая трываласць, выдатны антыстатычны эфект.
● Уся дэталь зроблена з аднастайнага антыстатычнага керамічнага матэрыялу замест керамічнай паверхні з аксіду алюмінію, пакрытай матэрыялам ESD.
Латок для пераноскі тонкіх пласцін
● Высокая магутнасць ўсмоктвання.
● Высокая дакладнасць шліфавання па плоскасці і паралельнасці.
● Сітаватасць 20-25%.
● Шурпатасць паверхні
● Порыстая кераміка з нізкім супрацівам і добрымі антыстатычнымі ўласцівасцямі.
● Таўшчыню можна наладзіць у адпаведнасці з патрабаваннямі. Звычайная таўшчыня: 0,7 мм, 1,0 мм, 2,0 мм.
● Для загрузкі, адсорбцыі і ачысткі пласцін SiC і GaAs.
Статычная шчыльная кераміка
● Значэнне супраціву: 105~109 Ом.
● Колер: чорны.
● Індывідуальны памер, максімальная таўшчыня ~30 мм.
● Замест таго, каб наносіць толькі антыстатычную плёнку на паверхню, увесь блок зроблены з матэрыялу, які рассейвае статычную нагрузку, з выдатным эфектам рассейвання статычнай нагрузкі.
● Падыходзіць у якасці асновы для дакладных дэталяў або кампанентаў машын, якія патрабуюць ліквідацыі статычнай электрычнасці
Chuck Table для рэзкі вафель
● Звычайна выкарыстоўваецца для рэзкі і ачысткі вафель.
● Значэнне супраціву порыстай керамікі: 106~108 Ом.
● Дакладнасць шліфавання паверхні дасягае
● 6", 8", 12-цалевы латок для нарэзкі вафель з асновай з нержавеючай сталі.
● Высокая аднастайнасць і высокая адсорбцыя.
Бескантактавая перадача паветра плаваючая пласціна
● Прадукт можна падняць паветрам для дасягнення эфекту падвескі і бескантактавай перадачы пад станоўчым ціскам.
● Агульныя памеры: 500*100*40, 750*100*40 і 1000*100*40 мм.
● Порыстая кераміка зроблена з матэрыялу, які рассейвае статычную электрычнасць, каб пазбегнуць праблем са статычнай электрычнасцю.
● Выдатак паветра, ціск падачы паветра і вышыню паветранага паплаўка можна кантраляваць у залежнасці ад памеру пор керамікі.
● Дыхальныя шляхі з дадатным і адмоўным ціскам могуць быць распрацаваны для забеспячэння плаўнага і стабільнага рухомага паветранага патоку.
● Сітаватая кераміка, спечаная пры высокай тэмпературы, з высокай трываласцю і зносаўстойлівасцю, якая не ўтварае пыл.
Паветраны падшыпнік
● Малы памер пор (
● Можа вытрымліваць працяглы высокі ціск.
● Мінімальны расход газу і выдатная агульная цвёрдасць газу.
● Ён можа стабільна несці вялікую вагу (>100 кг), і яго няпроста стварыць эфект пнеўматычнага малатка.
● Памер і форму можна наладзіць.
● Керамічны матэрыял няпроста падрапаць, ён не ўтварае пылу, прыдатны для выкарыстання на высокадакладных станках.
Вакуумны патрон з падагрэвам
● Адсорбцыя і нагрэў прадметаў адначасова.
● Максімальная тэмпература нагрэву складае 150 градусаў Цэльсія.
● Керамічныя пласціны порыстага керамічнага вакуумнага модуля можна рамантаваць і замяняць паасобку.
● Памер порыстага керамічнага вакуумнага модуля можна наладзіць.
● Моцная адсорбцыя, просты ў эксплуатацыі.
Порыстая керамічная трубка
● Прызначаны для працэсу Roll-to-Roll.
● Для аптычнай плёнкі, тэхналогіі мікра-нана адбітка, тонкаплёнкавага ВК-працэсу.
● Дастасавальна да ўсіх відаў тонкаплёнкавых працэсаў, можа выкарыстоўвацца як бесперапынны вытворчы працэс.
● Ён можа дасягнуць падвойнай мэты адсорбцыі пад адмоўным ціскам і паветранай флотацыі пад станоўчым ціскам.
● Керамічная трубка зроблена з антыстатычнага матэрыялу.
● Даўжыня да ~700 мм, дыяметр трубы да ~ 200 мм.
