Праектаванне і зборка машын для паўправадніковай прамысловасці
Аўтаматычная машына для прасейвання прымешак
Уводзіны: артаганальная рабатызаваная рука спалучаецца з сістэмай распазнавання відарысаў ПЗС для прагляду прымешак. ПЗС-камера выкарыстоўваецца для фіксацыі прадметаў, і праграмнае забеспячэнне аўтаматычна ідэнтыфікуе прымешкі і разлічвае каардынаты размяшчэння прымешак, і выдаляе іх праз саломінку.
Ужыванне: Скрынінг прымешак
Настольная машына для кантролю фільеры
Уводзіны: артаганальная рука робата аб'ядноўвае сістэму распазнавання малюнкаў ПЗС для выяўлення фільеры і ідэнтыфікацыі таго, заблакаваная ці зношаная фільера.
Ужыванне: праверка фільеры, праверка мікраадтуліны, дэфектаў паверхні або праверка памераў.
Высокадакладная сістэма візуальнага выраўноўвання
Увядзенне: высокадакладная сістэма візуальнага выраўноўвання ў асноўным забяспечвае высокадакладнае выраўноўванне двух аб'ектаў. Адрозненне ад агульнага кааксіяльнага візуальнага выраўноўвання заключаецца ў тым, што два тэстуемыя аб'екты не трэба складаць у стос і выкарыстоўваць пазавосевае выраўноўванне. шлях.
Ужыванне: выраўноўванне маскі, выраўноўванне нанаадбіткаў.
Траншэйная машына з гнуткай цангай
Уводзіны: Аўтаматычная загрузка і выгрузка, аўтаматычная ацэнка выявы выраўноўвання канаўкі, выразанне канаўкі. Працэс рэзкі цалкам аўтаматызаваны, са стабільнай хуткасцю і якасцю. Уласна распрацаваная сістэма выяўлення выявы вызначае, ці трэснула цанга для кантролю якасці.
Прымяненне: Аўтаматычная нарэзка пазы эластычнай цангай.
Высокадакладная машына для вымярэння двухмернага малюнка
Уводзіны:
Ход: 0,5м*1,5м
Канструкцыя: гранітная рама
Прывадная прылада: лінейны рухавік (адзін прывад)
Накіроўвалая прылада: лінейная накіроўвалая
Прылада візуалізацыі: CCD+ мікраскапічная аптычная сістэма + сістэма лазернай факусіроўкі
Прылада зваротнай сувязі: лазерны інтэрферометр
Ужыванне: выяўленне памеру панэлі і дэфектаў, выяўленне друкаванай платы
Высокадакладная машына для вымярэння двухмернага малюнка
Уводзіны:
Ход: 1,3м*1,5м
Канструкцыя: гранітная рама
Прывадная прылада: лінейны рухавік (двайны прывад)
Накіроўвалая прылада: лінейная накіроўвалая
Прыбор візуалізацыі: ПЗС + мікраскапічная аптычная сістэма + лазерная сістэма факусіроўкі
Прылада зваротнай сувязі: лазерны інтэрферометр
Ужыванне: выяўленне памеру панэлі і дэфектаў, выяўленне друкаванай платы
Дызайн машыны для вымярэння двухмернага малюнка з доўгім ходам
Уводзіны:
Ход: 2 м * 1,3 м (пралёт партала больш за 2 м)
Канструкцыя: гранітная аснова + алюмініевая рама
Прывадная прылада: лінейны рухавік
Накіроўвалая прылада: лінейная накіроўвалая
Прылада візуалізацыі: абсталявана металаграфічным мікраскопам
Прылада зваротнай сувязі: аптычная лінейка
Ужыванне: выяўленне памеру панэлі і дэфектаў, выяўленне друкаванай платы
Высокадакладная машына для вымярэння двухмернага малюнка
Уводзіны:
Stroke:0.75m*0.9m
Канструкцыя: гранітная рама
Прывадная прылада: лінейны рухавік
Накіроўвалая прылада: паветрана-плаваючы накіроўвалы рэек
Прылада візуалізацыі: CCD+мікраскапічная аптычная сістэма+лазерная сістэма факусіроўкі
Прылада зваротнай сувязі: лазерны інтэрферометр
Прымяненне: памер панэлі і выяўленне дэфектаў, праверка друкаванай платы
Машына для вымярэння таўшчыні падкладкі і вонкавага дыяметра
Увядзенне: полая платформа для пазіцыянавання лінейнага рухавіка па восі XY спалучаецца з лазерным зондам для вымярэння таўшчыні і дэфармацыі падкладкі, а таксама з прыладай для вымярэння выявы для выяўлення знешняга дыяметра і дэфектаў.
Дно платформы абсталявана LIFT PIN, які аўтаматычна падымае і разгружае матэрыялы. Яго можна камбінаваць з рабатызаванай рукой SCARA для аўтаматычнай пагрузкі і разгрузкі.
Ужыванне: таўшчыня падкладкі, дэфармацыя, вымярэнне вонкавага дыяметра і выяўленне дэфектаў.
