تصميم وتجميع الآلات لصناعة أشباه الموصلات
آلة فحص الشوائب الأوتوماتيكية
المقدمة: يتحد الذراع الآلي المتعامد مع نظام التعرف على الصور CCD لفحص الشوائب. تُستخدم كاميرا CCD لالتقاط العناصر، ويقوم البرنامج تلقائيًا بتحديد الشوائب وحساب إحداثيات موقع الشوائب، ثم إخراجها من خلال القشة.
التطبيق: فحص الشوائب

آلة فحص المغازل المكتبية
المقدمة: يجمع ذراع الروبوت المتعامد بين نظام التعرف على الصور CCD لاكتشاف المغزل وتحديد ما إذا كان المغزل مسدودًا أو مهترئًا.
التطبيق: فحص المغازل، فحص الثقوب الدقيقة، عيب السطح أو الفحص الأبعادي.

نظام محاذاة بصرية عالية الدقة
المقدمة: يوفر نظام المحاذاة البصرية عالية الدقة بشكل أساسي محاذاة عالية الدقة لكائنين. والفرق عن المحاذاة البصرية المحورية العامة هو أن الكائنين قيد الاختبار لا يحتاجان إلى التكديس واستخدام المحاذاة خارج المحور.
التطبيق: محاذاة القناع، محاذاة البصمة النانوية.


آلة حفر الخنادق ذات المشابك المرنة
المقدمة: التحميل والتفريغ التلقائي، الحكم التلقائي على محاذاة الأخدود، قطع الأخدود. عملية القطع آلية بالكامل، مع سرعة وجودة ثابتة. يحدد نظام الكشف عن الصور الذي تم تطويره ذاتيًا ما إذا كان المشبك متصدعًا لمراقبة الجودة.
التطبيق: قطع الأخدود التلقائي بواسطة المشبك المرن.


آلة قياس الصور ثنائية الأبعاد عالية الدقة
مقدمة:
السكتة الدماغية: 0.5 متر * 1.5 متر
الهيكل: إطار من الجرانيت
جهاز الدفع: محرك خطي (محرك فردي)
جهاز التوجيه: سكة انزلاق خطية
جهاز التصوير: نظام بصري مجهري CCD+ + نظام تركيز ليزر
جهاز التغذية الراجعة: مقياس التداخل بالليزر
التطبيق: حجم اللوحة واكتشاف العيوب، واكتشاف لوحة PCB
آلة قياس الصور ثنائية الأبعاد عالية الدقة
مقدمة:
Stroke: 1.3m*1.5m
الهيكل: إطار من الجرانيت
جهاز القيادة: محرك خطي (محرك مزدوج)
جهاز التوجيه: سكة انزلاق خطية
جهاز التصوير: CCD + نظام بصري مجهري + نظام تركيز ليزر
جهاز التغذية الراجعة: مقياس التداخل بالليزر
التطبيق: حجم اللوحة والكشف عن العيوب، والكشف عن لوحة PCB
تصميم آلة قياس الصور ثنائية الأبعاد ذات الشوط الطويل
مقدمة:
الشوط: 2م*1.3م (امتداد الجسر أكثر من 2م)
الهيكل: قاعدة من الجرانيت + إطار من الألومنيوم
جهاز الدفع: محرك خطي
جهاز التوجيه: سكة انزلاق خطية
جهاز التصوير: مزود بمجهر معدني
جهاز التغذية الراجعة: مسطرة بصرية
التطبيق: حجم اللوحة واكتشاف العيوب، واكتشاف لوحة PCB

آلة قياس الصور ثنائية الأبعاد عالية الدقة
مقدمة:
السكتة الدماغية: 0.75 م * 0.9 م
الهيكل: إطار من الجرانيت
جهاز الدفع: محرك خطي
جهاز التوجيه: قضيب توجيه عائم هوائي
جهاز التصوير: CCD+نظام بصري مجهري+نظام تركيز ليزر
جهاز التغذية الراجعة: مقياس التداخل بالليزر
التطبيق: حجم اللوحة واكتشاف العيوب، وفحص لوحة PCB


آلة قياس سمك الركيزة والقطر الخارجي
المقدمة: يتم دمج منصة تحديد موضع المحرك الخطي المجوف على المحور XY مع مسبار ليزر لقياس سمك وانحراف الركيزة، ويتم دمجها مع جهاز قياس الصور للكشف عن القطر الخارجي والعيوب.
تم تجهيز الجزء السفلي من المنصة بـLIFT PIN، والذي يرفع المواد ويفرغها تلقائيًا. ويمكن دمجه مع الذراع الروبوتية SCARA للتحميل والتفريغ التلقائي.
التطبيق: قياس سمك الركيزة، والانحناء، والقطر الخارجي واكتشاف العيوب.

